参考消息网5月22日报道 5月19日，长江存储终于盼来了自己的首台光刻机。当天中午，这台价值7200万美元、比黄金还金贵的设备，运抵了武汉天河机场。这台来自全球最大的芯片设备制造商——荷兰阿斯麦公司（ASML）的大家伙的到来，被外界看做中国芯片技术的重要突破。好消息不止一个。就在几天前，据《日经亚洲评论》15日援引消息人士的话称，中国芯片加工企业中芯国际（SMIC）也与同一家企业——荷兰阿斯麦公司订购了其首台最先进的EUV（极紫外线）光刻机，价值1.2亿美元。消息称，这台几乎相当于中芯国际去年全部净利润的设备，将于2019年初交付。点击图片进入下一页5月19日，长江存储首台光刻机运抵武汉天河机场。光刻机为何物？光刻机为何物？为何如此金贵？香港《明报》5月22日报道称，光刻机（又称曝光机）是生产大规模集成电路的核心设备，其作用是扫描曝光芯片晶圆，刻蚀集成电路。制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，世界上只有少数厂家掌握。因此光刻机的价格昂贵，通常在3000万至5亿美元不等。目前，虽然尼康、佳能等对手都在勉力竞争，但是自飞利浦独立的阿斯麦公司掌握了90%以上的高端光刻机市场份额。精度愈高的光刻机，能生产出纳米尺寸愈小、功能更强大的芯片。世界最新最先进的两代高端光刻机领域，即浸入式（Immersion）和极紫外线式（EUV）光刻机，全部由阿斯麦掌握核心技术。报道称，小于5纳米的芯片晶圆，目前只能用EUV光刻机生产。三星电子和台积电目前正竞争生产7纳米工艺技术芯片，这两家都订购了阿斯麦公司的EUV光刻机。目前，苹果iPhone X和iPhone 8系列的核心处理器芯片，采用的是台积电10纳米工艺技术，而今年即将推出的新款iPhone将使用7纳米工艺技术。由此可知，拥有光刻机对芯片工艺的实现有着决定性的影响。点击图片进入下一页荷兰阿斯麦公司厂区。（法新社）
